离子源

denton vacuum pem endeavor

产生和控制具有特定能量、化学反应性、电流密度和轨迹的离子种类的能力使离子源成为制造精密薄膜和表面的有效工具。致密化、光透射、临界厚度均匀性、光滑界面、改进的粘附性和垂直侧壁这些人们追求的材料特性离子源能帮助实现。

丹顿真空提供内部研发的CC-105离子源。CC-105是一种宽束冷阴极直流电源,设计用于离子辅助沉积和预清洁工艺。

我们现在提供新的无灯丝Endeavor RF离子源,目前可在新系统上获得。

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用途

研究和制造:

  • 光学器件
  • 光子学
  • 磁性与微电子器件

优势

丹顿公司的Endeavor RF离子源设计成无需灯丝就能工作,并使用单个提取网格。因为从源提取的电子通量足以中和离子束空间电荷并消除腔室中的空间电荷电弧,所以,该RF离子源不需要辅助电子中和器,例如,热灯丝或空心阴极。

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