在线控制

在线工具在整个薄膜沉积过程中实时观察薄膜的形成。  诸如 等离子体辉光监测器(PEM)光学监测系统(OMS)和反射高能电子衍射(RHEED) [分析表面结构和形态(包括曲率、应力、反射率和生长速率)]等在线计量工具促进了新的和精细的薄膜工艺、材料和结构的发展。对于成熟的工艺,在线工具有助于实现更高的产量和最大的设备运行时间,源于其为过程监控提供关键信息。

在线控制向系统提供实时反馈,以实现更严格的端点控制。这可以保证在运行高难度工艺时实现高产量和高重复性。


PEM和OMS

两种常见的薄膜特性表征和沉积的在线控制方法是等离子体辉光监测(PEM)和光学监控系统(OMS)。  在等离子体辉光监测(PEM)中,反馈控制解决方案将基于溅射沉积的发射光谱来监控等离子体特性,通过此种方法可保持成膜质量和高沉积速率。光学监控系统(OMS)提供在沉积过程中监控薄膜光学特性的能力,并允许您在沉积过程中调整堆叠层厚度,以更好地实现目标光学传输特性。

借助丹顿真空设备公司的等离子体辉光监测器(PEM)和光学监控系统(OMS)的反馈控制解决方案,实现对薄膜沉积过程的完全在线控制。若要了解有关这些解决方案的更多信息,请访问下列产品页面。


在线控制的解决方案