Voyager薄膜沉积解决方案

PE-CVD – 等离子体增强化学气相沉积

denton vacuum voyager thin film deposition system

Voyager等离子体增强型化学气相沉积(PE-CVD)系统,侧重类金刚石 (DLC),为平面镀层(例如,硅晶片)和三维零件(例如,光学透镜)镀膜提供高度的灵活性。系统配有丹顿公司的Process Pro控制系统,实现自动化和手动过程控制。

此外,有一种可选的专有腔室配置,能够在DLC沉积过程中进行共聚焦溅射金属制备掺杂金属的DLC (Me-DLC)膜。这种结构在工业上是独有的,并为开发可定制特定机械、电气和摩擦性能的新型DLC薄膜带来了可能性。

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用途

Voyager平台提供类金刚石膜,用于:

  • 耐刮擦显示屏
  • 医疗和商业产品的耐磨镀膜
  • 红外透明保护膜

优势

Voyager解决方案提供PE-CVD和共形镀膜溅射、低温处理和天生高均匀性。