Phoenix联线式系统用于大批量生产，并支持平面和3D组件加工。该系统可适应射频、交流、直流和脉冲直流溅射，以及PE-CVD工艺，和最大GEN3.5玻璃尺寸(600mmX720mm)的基片或托盘。
Phoenix在线自动化传输平板托盘或托架，穿过系统的线性腔室。该系统可以配置丹顿公司的专有光学过程控制系统，或彩色控制系统（专利审批中）。
自动化的联线式码垛输送系统产生均匀厚度和同质的镀膜，非常适合具有挑战性的堆层和简单产品的混合。可以配置平面或圆柱形阴极。阴极的宽度和长度经过优化，可以满足您的工艺性能和产量要求。
Phoenix联线式码垛运输系统(IPC)为用户提供最佳的均匀膜厚，和高度均匀的膜层。IPC系统包括六个不同的工作站或工作腔室，包括：进料腔室、双装载预处理缓冲腔室、双室抽气过程、双装载后处理缓冲腔室和充气腔室。