Infinity薄膜沉积解决方案

离子束沉积

denton vacuum infinity thin film deposition solution

在光学干涉膜或x射线反射镜光学器件等要求苛刻的场合需要高质量的薄膜时,Infinity离子束沉积系统将是理想的解决方案。离子束沉积(IBD)系统可根据工艺要求定制,可选配多种硬件和监控系统,其可做到沉积速率稳定,并装有第二离子源用于预清洗和离子辅助沉积。

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用途

  • 光学干涉镀膜
  • 封装薄膜
  • 互连
  • 触点
  • 凸点下金属化
  • 薄膜端头
  • X射线反射镜光学系统

优势

有了Infinity,您可通过独立控制离子束能量和通量,从而更好地控制薄膜的微观结构、化学计量和应力,完成多种材料的沉积。Infinity沉积速率稳定,可非常好地控制光滑表面的膜厚和均匀性。

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