Infinity行星离子束刻蚀系统

离子束刻蚀

行星离子束刻蚀系统是一个批处理系统。它灵活多变、用途广泛并且占地面积小,是紧凑生产车间的理想选择。系统面向中低产量应用,是微机电系统、半导体和数据存储市场以及光学、透镜、试产和晶圆厂支持的理想解决方案。

系统特点包括行业领先的离子束源、用于终点检测的集成二次离子质谱仪 (SIMS)、先进的半导体层停止技术 (SLST) 以及完全由计算机控制的自动层终止软件。

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应用

  • 利用终点控制提高半导体制程良品率
  • 化合物半导体金刻蚀
  • 工艺控制和芯片设计评估
  • 图形刻蚀
  • 晶片加工服务

优势

Infinity PSIBE系统可实现高性能刻蚀、临界薄膜轮廓铣削、掠射角铣削等。系统通过单一晶片进样室手动样品传送来节省成本。系统符合 1000 级洁净室规范(舞厅式)和防静电规范,并提供化学辅助刻蚀功能。

通过我们的协同合作伙伴方式,我们将确保根据您的性能和产量需求配置Infinity PSIBE系统。我们的技术专家团队将为您提供全面支持,实现最优结果。

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