Infinity LANS系统:实验室合金与纳米层系统

离子束沉积

Infinity LANS system

Infinity实验室合金与纳米层系统 (LANS) 是一种小型研发解决方案,用于新兴的介电、金属、磁性、超导和半导体薄膜的开发,广泛用于材料研究领域。该系统对膜厚、界面、合金成分和材料柔性的控制无可媲美。

这个多功能平台配备多种工艺靶材,用于多层材料合成和复合纳米技术。它是光学、磁性传感器和研发市场的理想解决方案。

联系销售人员


应用

  • 材料研发
  • 精密光学
  • 磁性传感器
  • 半导体开发

优势

丹顿真空设备Infinity LANS系统提供偏置靶材沉积 (BTD),这是一种混合技术设计用来保证离子束沉积 (IBD) 和常规溅射工艺达到最佳质量。系统提供一系列工艺压力,控制表面原子能量,在超过 75 mm 的面积上保证卓越的可重复性和均匀性 (<3%)。系统配备一个高输出、低能量的等离子源。平台提供一个水冷的旋转式或脉冲式直流偏置台,可将样品加热至 600 ℃。与其他丹顿真空设备系统一样,此系统也将根据客户应用的准确要求加以配置,并由我们的技术专家团队提供支持。

了解详情