DLC镀膜:类金刚石

DLC或类金刚石镀膜是沉积在其他材料上的薄膜,提供许多通常与金刚石相关的有益特性,例如,硬度、耐化学性、耐刮擦性和润滑性,从而最大限度减少摩擦。 此外,DLC镀膜具有高导热性和电阻率。 这些特性的组合适用于微电子、医疗设备和汽车部件。

DLC镀膜可用作显示器、传感器和柔性半导体上的保护镀膜,大幅提高耐用性,并延长最终产品的总寿命。


DLC沉积方法

DLC镀膜通常使用PE-CVD (等离子体增强型化学气相沉积)工艺沉积。PE-CVD的优点是高沉积速率、低基片温度和高保形镀膜。低熔点的材料,例如,聚合物,可以采用DLC镀膜沉积,以提高其表面硬度。

丹顿真空设备有限公司已经开发了多种独特的设备配置。其中之一的DLC镀膜系统,配置金属膜溅射,用于沉积金属掺杂DLC(Me-DLC)薄膜。Me-DLC薄膜的性能可以定制,以满足独特产品应用,比如微机电系统(MEMS)传感器,对于硬度、电阻率和耐磨性的需求。


用于DLC镀膜的特色解决方案