透明导电氧化物:TCO镀膜解决方案

透明导电氧化物镀膜,通常称为TCO镀膜,是一种用于电子产品的无机TCF(透明导电薄膜)。由于TCO镀膜用于太阳能电池和显示器,而市场对电子消费产品,尤其是智能设备的需求持续增长。这类镀膜也经常用于汽车、医疗器械、建筑、航空航天和国防,以及眼镜上。

TCO镀膜透明且导电,经常用于光伏、LCD(液晶显示器)、OLED和触控屏。 铟锡氧化物(ITO)由于其高透射率和低电阻率而成为最常用的无机薄膜之一。 然而,其可能有毒,而且作为一种稀有金属,其价格昂贵。 因此,许多公司正在研究AlZnO作为替代的高性能TCO材料。


TCO的沉积方法

对于TCO镀膜,磁控溅射是一种良好的低成本/高产量解决方案。您可以使用丹顿公司的Discovery多腔室设备,在O2环境下溅射ITO靶得到稳定的化学计量薄膜,或使用Phoenix系统,用于大批量生产镜子和显示器。在下面选择一项,了解这些溅射系统的更多信息。


TCO镀膜的特色解决方案