薄膜光学滤波器

薄膜光学滤波器,也称为薄膜滤光器或TFF,通过过滤或改变光学系统内的光波满足不同光学应用对相位控制的需求。示例应用包括光刻、图像增强、图像分割、色彩匹配成像和拉曼光谱。薄膜光学滤波器用于许多行业,包括航空航天和国防、医疗和电子。

光学滤波器的沉积方法

光学滤波器或薄膜晶体管的常用沉积方法是离子辅助电子束蒸发和磁控溅射。我们为这两种沉积类型都提供了解决方案:对于离子辅助电子束蒸发,可选择ExplorerIntegrity;对于磁控溅射,可选择 PhoenixDiscovery

丹顿 Integrity 精密光学系统设计用于制备吸收散射小的高质量光学膜层,其拥有一整套精密设计和配置的电子束和离子辅助沉积技术,帮助您精确使用和控制光学应用中的反射率、透射率、吸光度和阻抗。此系统的特色是具有原位翻转夹具,可以在不破坏真空的情况下在光学器件的两侧镀膜,并利用LambdaPro® 光学监控系统(OMS)进行实时控制。详见 精密光学手册


光学滤波器的特色解决方案