DISCOVERY 785型磁控溅射系统

Discovery 785是丹顿真空磁控溅射系列的最新型号，在原有的广受欢迎的Discovery 635型磁控溅射台的基础上进行了一系列扩展，包括：可以配置大型工件盘（700mm），大型溅射靶枪（12英寸），大型进样室从而使得该系统兼顾了研发及小批量生产的要求；可以有空间配置更多溅射靶枪（>4溅射靶）或者用于预清洗/刻蚀的离子源。 Discovery 785标准配置4个靶枪，溅射靶枪（直径可达到12"）到工件盘的距离可以调节。可以实现直流溅射，射频溅射，直流脉冲溅射，共溅射，射频反应溅射以及射频偏压溅射。 Discovery 785 可以配备大型进样室，最大可传送直径700mm，重达50磅的传送盘。进样室上盖采用气动支撑杆，便于装载/卸载。进样室可以对工件进行加热。 Discovery 785采用Discovery系列通用的ProcessPro计算机全自动控制系统，稳定可靠，界面友好，操作简单直观，可根据客户需要生成程序、数据录入、远程控制和诊断。 下载产品宣传册以了解更多信息：Discovery Brochure (PDF 996 kb)

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