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CC-105离子源
 
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Sputtering System
 
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Helios - PECVD批量生产系统
...
 


Helios 是丹顿真空推出的PECVD量产系统。系统双开门,可以处理31x61英寸工件

特性

  • 批量生产
  • 可以处理31x61英寸工件
  • 双开门,便于真空室内操作及维护
  • 高质量不锈钢或铝真空室
  • 高可靠干泵,适应各种工艺气体
  • 计算机全自动控制系统
  • 远程访问能力
  • 超净室兼容设计
  • 涡轮分子泵

 

Helios产品彩页下载

Helios PECVD Bacth Production System
 

强大的控制系统丹顿真空ProcessPro计算机全自动控制系统,有维修模式,手动模式以及自动模式,自动模式一键式操作完成整个工艺,保证工艺的精确控制

ProcessPro控制软件:

  • 一致的操作界面所有丹顿真空计算机操作系统均采用类似操作界面
  • 标准化的软件使得技术支持更加方便
  • 开放源代码您可以自己修改软件
  • 网络支持支持远程控制
 

典型应用

PECVD

  • 材料研究
  • 大规模生产
  • 复杂形状工件镀膜
  • 多种材料镀制
 
可选项
PECVD
超高射频(40.68 MHz)
check
预处理真空室,加热及冷却
check
反应车
check
 
...   ...

 

 

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