产 品 简 介

产品概述 丹顿真空设计、制造了数以千计的蒸发、溅射、PECVD镀膜系统，产品广泛应用于精密光学、眼视光学、微电子/半导体、光电、通讯、医疗器械等领域的科学研究、产品开发和规模生产。作为美军工指定制造商，丹顿真空生产制造的所有镀膜设备在质量、性能、可靠性等方面均符合美军工标准并获得CE/UL/CSA等国际认证。
蒸发镀膜系统 · Integrity ®系列 · Explorer®14	磁控溅射系统 · Discovery ® · Explorer ® · Desk Pro	离子束溅射系统 · Discovery® HDG 反应离子束刻蚀 · Discovery ®HDG	电镜样品制备 · Desk · Bench Top Turbo · Explorer for Microscopy	PECVD系统 · Voyager
Integrity® 蒸发系统：丹顿真空历史最长的产品，广泛应用于半导体，微电子，光电子，光学等领域。系统真空室的直径范围从660mm到2m，配置灵活，稳定可靠。可以配置多种蒸发源、辅助离子源和光学/石英晶体膜厚监控，控制系统界面友好，易学易用。系统坚固耐用，维修率低。目前国内有Integrity各种型号设备共计14台。
Discovery® 磁控溅射系统 ：丹顿真空为满足研究机构研发及小规模生产的双重要求而开发的系统，自15年前推出以来，现已有超过100台Discovery磁控溅射系统遍布在世界许多著名企业和科研机构，比如摩托罗拉、英特尔等。Discovery®系列产品的真空室规格从460mm到890mm。目前在国内有Discovery 各种型号设备共计14台。
Discovery® HDG离子束溅射/刻蚀系统：丹顿真空与离子源技术的领导者---美国Veeco公司合作推出的 Discovery® HDG 离子束溅射系统，可以实现离子束沉积，离子束辅助沉积以及离子束刻蚀和反应离子束刻蚀。适合半导体，微电子等行业的高端镀膜的需要。
Explorer® 14 科研型蒸发/溅射系统 ：丹顿真空专门为研究所和大学开发的科研型设备，Explorer 14通用平台可以配置成为电子束/电阻蒸发，射频/直流磁控溅射，或蒸发/溅射混合系统。系统功能全面，价格合理。目前在国内有Explorer 14 各种型号设备共计12台。
Desk Pro台式磁控溅射系统：丹顿真空最新推出的桌面型台式磁控溅射系统，专门面向大学及研究所的实验室科研要求的磁控溅射应用。
Voyager® PECVD系统：系统采用防腐式分子泵做为主泵，可配备预真空室、离子源及多路气体进样装置。系统采用全自动操作及控制方式。Voyager系统可用于半导体和MEMS夹层介质钝化膜镀制、类金刚石膜（DLC）、TiN等硬膜的镀制、光学干涉薄膜镀制等。
Explorer for Microscopy ：丹顿真空开发的基于Explorer 14 平台的高端电镜样品制备系统。
BTT IV 电镜样品制备：是一套性能卓越、设计紧凑、可置于桌面运行的高真空镀膜机，电子显微镜样品制备的理想机型。
Desk IV电镜样品制备：专为SEM/STM电镜样品制备应用而研制的镀膜设备。它具有溅射和刻蚀两种工作模式。Desk IV可配置简单的机械泵抽气系统（用于碳的热蒸发或金制合金箔的溅射），也可配备涡轮分子泵抽气系统以用于超细颗粒样品制备。此系统采用全自动操作和控制方式，配有PDA，可实现远程、无线操作。