INTEGRITY 蒸发系统

Integrity 镀膜设备系列是丹顿真空历史最长的产品，应用于精密光学以及半导体，微电子等行业镀膜。丹顿真空一直是新技术的倡导者和实践者： 开发美国最早的商用电子枪 离子辅助镀膜技术应用的先驱 自动控制技术开发应用的先驱 丹顿Integrity®蒸发镀膜系统可为您提供一个功能强大、配置灵活的镀膜平台，并提供充分的选择以满足您特定的应用要求。
系统技术规格 真空室尺寸： 系统真空室直径从26"（660mm）到80"（2032mm）。 泵系统： 机械泵+扩散泵或低温泵，深冷系统（防返油及提高抽速）可选。 蒸发源： 多种型号270度电子枪以及电源（3KW，6KW，10KW），电阻蒸发源。 离子源： 丹顿真空CC-105宽束冷阴极离子源或客户指定离子源。 工装系统： 标准行星式，钟罩式，Knusden式以及特殊要求的夹具，如可自动翻面夹具。 光学膜厚监控系统： 丹顿真空LambdaPro光学膜厚监控系统，波长范围350nm到2000nm可选。 晶体膜厚控制系统：   IC5，XTC/2，MDC360可选，探头形式有单探头，双探头或六探头可选。 自动控制： 全自动计算机控制或PLC(可编程逻辑控制器)触摸屏控制可选。 下载产品宣传册以了解更多信息：Integrity Brochure (PDF 389kb)