丹顿真空，蒸发，磁控溅射，离子束溅射

 

EXPLORER 蒸发/磁控溅射系统

 

丹顿真空专门为研发应用设计和制造的 Explorer 14 以易接受的价格实现您的研发和小批量生产的要求。Explorer 14 是一个多用途的通用型平台，系统可以配置成为热蒸发，电子束蒸发，多靶磁控溅射或 PECVD 系统。采用和 Discovery 系列和 Infinity 系列同等水平的控制系统，Explorer 14 系统提供了高稳定性和灵活性。

 

Explorer 14 小型磁控溅射台

系统技术规格：

·         外形美观，操作方便。带触摸屏控制面板，PLC 自动控制（可以选配计算机控制系统），自动化操作。

·         可以配置为多源热蒸发或多坩埚E型电子枪蒸发以及最多三个3英寸磁控溅射靶枪。

·         蒸发系统可以配置石英晶体膜厚控制系统。

·         具有特殊均匀性的射频或直流磁控溅射。

·         各种尺寸的不锈钢真空室或玻璃钟罩。

·         便于设备的使用、维护的系统设计。

下载产品宣传册以了解更多信息：Explorer Brochure (PDF 999kb)

 

 

 

蒸发，磁控溅射，离子束溅射