Desktop Pro 桌面型磁控溅射台

丹顿真空新推出的Desktop Pro 系统以紧凑的台式系统满足高质量要求的磁控溅射应用。 Desktop Pro 系统能够溅射介质及金属材料。最多可以配置两个直径2英寸的磁控溅射靶枪。采用共焦配置，旋转工件台。整个工件台均匀性可以达到5%。 系统可以配置为射频/直流溅射或直流 + 射频溅射。可以配置磁性增强靶以溅射磁性材料。 Desk Top Pro 系统标准配置涡轮分子泵。可以选配液氮冷阱以提高对水蒸汽的抽速。系统采用触摸屏控制，提供手动和自动控制能力。 Desktop Pro 提供丹顿标准的一年保修。 下载产品宣传册以了解更多信息： Desktop Pro Brochure (PDF 483kb)

装配可选机械泵