蒸发,磁控溅射,离子束溅射

 

Bench Top Turbo 电镜样品制备系统

 

BTT IV的前三代产品的技术已久经验证,在此基础上,丹顿真空推出了第四代BTT产品。与以前的产品相比,此系统的几项主要指标得到了优化。

首先是真空性能,新增加的高真空阀门和液氮冷阱有效地提升了其背底真空度,缩短了抽真空时间。由此产生的清洁的高真空环境将有效提高镀膜质量。

其次是改进了系统真空室的底板和钟罩的尺寸。加大的底板能够容纳更多的电极接头,更多的工件卡具。同时,加大后的钟罩式真空室内可以容纳我们的DSM-300A溅射组件,此组件可以对任何金属进行溅射镀膜。


基于 PLC 和触摸屏的操作系统界面友好、直观。

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Bench Top Turbo Brochure (682kb)

BTT 电镜样品制备系统 

 

 

 

蒸发,磁控溅射,离子束溅射