蒸发,磁控溅射,离子束溅射

 

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美国丹顿真空设备有限公司                        Denton Vacuum LLC

美国丹顿真空设备有限公司成立于1964年,是世界知名真空镀膜设备(coating equipment)制造商。从成立至今,丹顿已为全球客户设计制造了数千台各种规格的蒸发(evaporator)、溅射(sputtering tool)和等离子体化学气相沉积(PECVD)镀膜系统,产品广泛应用于工业生产、科研开发和小规模制造等。

丹顿真空具有美国军工资质,从成立伊始即成为美国军方指定的设备签约供应商,为美国军品研发和制造提供真空镀膜设备。作为美国老牌“军工”企业,丹顿真空以设备的实用性和可靠性见长。

丹顿真空从2001年开始进入中国市场,目前在国内已有设备48台。为了更好地服务中国客户,丹顿真空于2003年成立了丹顿真空北京代表处,全权负责丹顿真空在中国地区的推广和售后服务。

丹顿真空目前产品包括:

蒸发台:Integrity®系列Explorer® 14

磁控溅射台:Discovery®系列Explorer® 14Desk Pro®

离子束溅射系统/离子束刻蚀系统:Discovery HDG®

PECVD系统:Voyager®

电镜样品制备:Desk IVBTT IVExplorer for  Microscopy

 

对产品的更多介绍,请参见产品与应用

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